토토 사이트 추천 반도체를 만드는 데 사용되는 토토 사이트 추천 웨이퍼에 대한 전체 표면 결함 검사 기술 개발
-고속 이미징 기술은 고품질의 토토 사이트 추천 파도에 기여합니다-

Kwansei Gakuin Educational Foundation ( "Kwansei Gakuin University"), 토토 사이트 추천 ( "토토 사이트 추천") 및 YGK Corporation ( "YGK")은 오늘 하위 표면 피해에 대한 검사 기술을 공동 개발했다고 발표했습니다 (SSD^*) 토토 사이트 추천 반도체를위한 실리콘 카바이드 (토토 사이트 추천) 파의 제조 공정에서 발생합니다 이 혁신적인 검사 기술은 2017 년에 처음 시작된 Kwansei Gakuin University와 토토 사이트 추천 간의 협력의 결과 중 하나이며, 고품질 토토 사이트 추천 Wavers를위한 대량 생산 가공 기술을 공동으로 개발했습니다 생산 효율성을 향상시키고 반도체 생산 및 연구의 최전선에서 직면 한 문제를 해결할 것으로 예상됩니다

토토 사이트 추천는 인기있는 토토 사이트 추천 반도체 재료로서 실리콘 (SI)에 비해 토토 사이트 추천 손실을 극적으로 줄이기위한 차세대 토토 사이트 추천 반도체 재료입니다 이러한 이유로 자동차, 철도, 산업 기계, 토토 사이트 추천 및 기타 산업에서 탄소 중립성을 달성하기 위해 미래에 훨씬 더 많이 채택 될 것으로 예상됩니다 전기 자동차 (EVS, HEVS, FCEV)에 대한 기대는 특히 높습니다
토토 사이트 추천 WAVER 생산의 한 가지 문제는 재료의 단단하고 부서지기 쉬운 특성으로 인해 표면 근처의 결정 층이 파괴 될 수 있고 SSD가 파도를 슬라이싱하고 연삭/연마 할 때 형성된다는 것입니다 (그림 1 참조) SSD는 Waver 생산의 수율을 줄이고 토토 사이트 추천 반도체 결함을 유발하지만 전체 WAVER 표면을 영상화 할 수있는 기술이 부족했습니다 따라서, Waver Mass Production Process에서 품질 관리에 사용할 수있는 고속 고도로 SSD 검사 기술에 대한 강력한 욕구가 있었으며 수락 검사에도 적용될 수 있습니다

Kwansei Gakuin University (Tadaaki Kaneko 교수, 공학 학교) 및 토토 사이트 추천는 YGK의 응용 레이저 조명 산란 기술에 관심을 돌 렸습니다 세 가지 조직은 함께 토토 사이트 추천 파의 가공 프로세스에서 생성 된 SSD의 전체 표면 이미징을위한 기술을 개발하고 Waver 품질의 상대적 비교를 가능하게합니다
이 기술은 레이저 라이트와 함께 Waver 표면을 조사한 다음 최적의 각도로 표면에서 산란 된 빛과 내부적으로 빛을 감지하여 SSD의 이미징을 가능하게합니다 (그림 2 참조) 또한 전체 WAVER 표면을 고속 검사 할 수 있으므로 대량 생산 공정에서 품질 관리와 같은 운영에 적용 할 수 있습니다 이제 목표는이 기술을 갖춘 Waver 검사 장치의 상용화로 빠르게 이동하는 것입니다
우연히도,이 검사 기술을 통해 확인 된 SSD는 "Dynamic Age-ing^®, "열 에칭 및 결정 성장을 통합하는 비접촉식 나노 프로세스 토토 사이트 추천로, 나노 미터 수준에서 제어 할 수 있습니다

이 새로운 토토 사이트 추천은 공식적으로 발표되고 실리콘 카바이드 및 관련 재료 2022 (ICSCRM 2022)에 관한 국제 회의에서 2022 년 9 월 11 일부터 16 일, 스위스에서 개최 될 예정입니다

* 토토 사이트 추천는 파도의 기계적 가공 (슬라이싱, 그라인딩 및 연마) 동안 연마제 및 응력 등과의 접촉에 의해 생성됩니다

*CMP = 화학 기계적 광택<Sues토토 사이트 추천on>・가공 프로세스 (②, ③) 토토 사이트 추천 기판 표면에 서브 표면 손상 (SSD)을 소개합니다
・ SSD는 CMP 이후에 남아있을 수 있습니다
・ CVD 에피 택셜 성장의 전처리는 SSD를 완전히 제거하지 못할 수있어 제품 결함이 발생할 수 있습니다
・ 기존 검사 방법 SSD의 실제 상태를 감지하기가 어렵습니다