산업-아카데미아 협력 프로젝트를 통한 전력 반도체를위한 모든 SIC 웨배트맨 와이즈 토토에 대한 기술 혼합물 검사 기술의 공동 개발
~ 고속 시각화 기술은 SIC 웨배트맨 와이즈 토토 품질의 개선에 기여합니다 ~

Kansai Gakuin School 배트맨 와이즈 토토rporation(이후, Kwansei Gakuin University) 및 배트맨 와이즈 토토 사이트 추천 Co, Ltd (이하 배트맨 와이즈 토토 사이트 추천),Yamanashi Technological Workshop 배트맨 와이즈 토토, Ltd(이하 Yamanashi 기술이라고 불리는)는 전력 반도체 재료 인 SIC (실리콘 카바이드) 웨배트맨 와이즈 토토의 제조 공정에서 발생하는 결정 균주 (가공 변형 층)에 대한 방법입니다^*)를 검사하는 기술을 공동으로 개발했습니다 이 기술은 2017 년부터 Kwansei Gakuin University와 토토 사이트 추천가 공동으로 수행 한 고품질 SIC 웨배트맨 와이즈 토토 대량 생산 공정 기술 개발에서 얻은 혁신적인 검사 기술이며, 반도체를 제조하고 연구하고 제조 효율성을 향상시키는 현장이 직면 한 문제를 해결하는 데 기여합니다

현재 인기있는 전력 반도체 재료 인 SI (Silicon)와 비교하여 SIC는 전력 손실을 크게 줄일 수 있으며, 특히 자동차, 철도, 산업 장비 및 전력에서 탄소 중립이되기 위해 전기 자동차 (EVS, HV, FCV)에서 특히 채택 될 것으로 예상됩니다

SIC 웨배트맨 와이즈 토토를 제조 할 때의 과제는 단단하고 부서지기 쉬운 것이므로 슬라이스, 연삭 및 연마 할 때 결정이 표면 근처에서 파손되어 처리 변형 층을 초래합니다 (그림 1 참조) 가공 스트레인 층은 웨배트맨 와이즈 토토 품질과 전력 반도체의 문제를 감소시킬 수 있지만, 웨배트맨 와이즈 토토의 전체 표면을 시각화하는 기술은 없으며, 웨배트맨 와이즈 토토 대량 생산 가공 공정의 품질 제어 및 수용 검사에 적용될 수있는 "고속 고정식 가공 변형 검사 기술"이 없습니다

Kansai Gakuin University (Kaneko Tadaaki 교수, 엔지니어링 학부) 및 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 토토 사이트 추천는 Yamanashi 기술 스튜디오가 보유한 레이저 산란 조명 응용 기술에 중점을 두 었으며 SIC 와배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 토토의 균질 한 층을 시각적으로 시각화하는 기술을 공동으로 개발하고 상대적으로 층을 비교했습니다

이 기술을 사용하면 가공 왜곡 층을 웨배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 토토 표면에 방화 된 레이저 라이트를 조사하여 표면과 내부에서 산란 된 빛을 최적의 각도로 검출하여 가시화 할 수 있습니다 (그림 2 참조) 또한, 웨배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 토토의 전체 표면을 고속으로 검사하여 대량 생산 처리 프로세스 등의 품질 관리에 적용 할 수 있습니다 향후, 우리는이 기술을 구현하는 웨배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 토토 검사 장치의 상용화를 신속하게 실현하는 것을 목표로 할 것입니다

또한,이 검사 기술을 통해 확인 된 가공 스트레인 층은 2021 년 3 월 Kwansei Gakuin University와 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 배트맨 와이즈 토토 사이트 추천가 발행 한 비접촉 나노 제어 공정 기술 "Dynamic Age-ing®"을 사용하여 완전히 제거 될 수 있으며, 열경성 및 결정 성장을 통합합니다

이 공동으로 개발 된 기술은 ICSCRM2022 (SIC 및 관련 자료에 관한 국제 회의 및 관련 자료 2022)의 부스에서 2022 년 9 월 11 일부터 16 일까지 스위스에서 개최 될 부스에서 발표 및 전시 될 것입니다

*웨배트맨 와이즈 토토를 슬라이싱, 그라인딩 또는 연마와 같은 가공 중 연마 곡물 또는 응력과의 접촉으로 인한 변형 층

① 균
② SIC 웨배트맨 와이즈 토토베이스를 만들기 위해 잉곳을 슬라이스 잉기
③ 그라인딩 및 연마 슬라이스 SIC 웨배트맨 와이즈 토토베이스
④ CMP = 화학 기계식 광택 거울 SIC 웨배트맨 와이즈 토토 마감
⑤ 고급 크리스탈 박막은 SIC 웨배트맨 와이즈 토토 (CVD Epitaxial Growth)에 형성됩니다

・단계 ② 및 ③로 가공 할 때 가공 변형 층이 표면 근처에서 발생합니다

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・ 지금까지, 가공 된 변형 층이 단계 ② ~ ④ 동안 전체 웨배트맨 와이즈 토토에 어떻게 남아 있는지 확실하지 않았다