"제로 결함"6 인치 토토 사이트 검증 기판을 실현하기위한 혁신적인 프로세스 기술을 개발했습니다~ 초기 대량 생산을 목표로 장치 제조업체에 대한 샘플 공급 ~
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202토토 사이트 검증 3 월 1 일
Toyoda Tsusho Co, Ltd (이하 토토 사이트 검증 추천라고 불림)Kansai Gakuin School Corporation(이후, Kwansei Gakuin University)는 차세대 전력 반도체 재료 토토 사이트 검증 (Silicon Carbide : Silicon Carbide)의 결함입니다*를 분해하는 표면 나노 제어 프로세스 토토 사이트 검증®"개발되었습니다이 기술은 토토 사이트 검증 기판의 품질과 생산성을 동시에 개선하고 6 인치 토토 사이트 검증 기판에 대한 성능 검증을 완료하는 혁신적인 기술입니다 토토 사이트 검증 기판은 세계의 자동차를 포함하여 광범위한 분야에서 큰 수요가있을 것으로 예상됩니다 우리는 반도체 장치 제조업체에 샘플을 공급하기 시작하고 대량 생산 라인 에이 기술을 도입하기위한 평가 및 검증을 진행할 것입니다
1 배경
토토 사이트 검증는 현재 널리 사용되는 전력 반도체 재료 인 SI (실리콘)에 비해 전력 손실을 크게 줄일 수있어 냉각 장치의 전력 활용 및 소형화의 효율성을 향상시킬 수 있습니다 이 회사는 중간 및 고전압 장치가 필요한 자동차, 철도, 산업 장비 및 전기와 같은 녹색 혁신이 진행되는 지역에서 실질적으로 사용하기 시작했으며 EVS, HV 및 FCV와 같은 전기 자동차에 대한 수요가 높으며 국내 및 국제 자동차 산업에서 수요가 크게 확장 될 것으로 예상됩니다
저렴한 비용으로 고도로 신뢰할 수있는 전력 반도체를 제조하려면 고품질의 대규모 기질 기판의 안정적인 공급이 필요합니다 그러나, 지금까지, 토토 사이트 검증 기판의 문제는 기판 상단에 형성된 전력 반도체의 성능이 가공 중에 발생하는 결정 왜곡 (가공 왜곡 층)으로 인해 크게 손상되며 기저 평면 탈구 (BPD)의 고유 한 결함으로 인해 크게 손상된다는 것이다
2 "역토토 사이트 검증 인 연령대®"
Kansai Gakuin University (Kaneko Tadaaki 교수, 과학 및 공학부) 토토 사이트 검증 추천, "Dynamic Age-ing®"전통적인 가공과 달리 열 에칭 및 결정 성장을 통합하는 비접촉식 나노 제어 공정 기술입니다이 기술은 초고속 온도 아래에서 토토 사이트 검증 기판을 배치하여 표면의 원자 배열을 자율적으로 조정하여 표면을 완전히 제거 할 수있게 해주겠습니다 1) "동적 인®" "를 적용함으로써 제조업체 나 크기에 관계없이 토토 사이트 검증 보드의 품질을 향상시킬 것입니다 또한 기판 제조 공정을 단순화하고 수율을 향상시켜 토토 사이트 검증 기판의 생산성을 향상시킬 수 있습니다 (그림 2 참조)
3 개방형 혁신을 통한 토토 사이트 검증
현재까지, 업계-아카데미아 협력은 연구 개발의 주류였으며, "대학은 기본 기술"으로 나뉘어져 있으며 "제조업체는 생산 기술, 제품 및 대량 생산의 개발"입니다 그러나 Kwansei Gakuin University와 토토 사이트 검증 검증 검증 검증 검증 검증 검증 검증 검증 추천는 Kwansei Gakuin University가 20 년 동안 재배 한 토토 사이트 검증 검증 검증 검증 검증 검증 검증 검증 검증 검증 관련 기술과 토토 사이트 검증 검증 검증 검증 검증 검증 검증 검증 검증 추천의 기업 네트워크를 사용하고 있으며, 사용자 회사 및 제조업체가 널리 참여할 수있는 개방형 혁신을 통해 기술 개발 및 실용적인 응용 프로그램을 홍보하고 있습니다
4 "역토토 사이트 검증 인 연령대®"
토토 사이트 검증 추천와 Kwansei Gakuin University는 "Dynamic Age-ing®"를 사용하여 토토 사이트 검증 기판 샘플을 공급하기 시작할 것입니다 2021 년 회계 연도 상반기에 반도체 장치 제조업체와 협력하여 실제 사용을위한 평가 및 검증을 수행 할 것입니다 앞으로, 고품질의 경쟁이 치열한 6 인치 토토 사이트 검증 기판을 주로 자동차 부문의 광범위한 사용자 회사에 공급하기 위해 광범위한 비즈니스 파트너를 모집하고 대량 생산을 신속하게 실현하는 것을 목표로합니다 또한, 우리는 큰 직경의 8 인치 토토 사이트 검증 기판에 "동적 연령"을 소개 할 것입니다®|"의 적용을 목표로 한 토토 사이트 검증을 가속화 할 것입니다
*결함 : 토토 사이트 검증 탈구 유형 인 기저 평면 탈구를 나타냅니다
(그림 1) "역토토 사이트 검증 인 연령대®"
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사용 중고 상업적으로 이용 가능한 4 ° 오프 SI 표면 4H-토토 사이트 검증 기판을 사용하여 DA를 적용함으로써 BPD가 전체 보드의 1보다 작고 아래 나열된 크기임을 확인했습니다
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